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学科主题: 物理化学
专利名称: 一种超高真空表面分析系统中的电子束加热器;  一种超高真空表面分析系统中的电子束加热器
发明人: 马 腾 ;  谭大力 ;  傅 强 ;  王 珍 ;  包信和
申请受理号: CN200820218629.3
专利授权号: CN200820218629.3
申请日期: 2008-10-22
授权日期: 2009-07-08
代理机构: 马驰
专利权人: 中国科学院大连化学物理研究所
专利类别: 实用新型
关键词: 物理化学
专利证书号: 带填写
是否PCT专利: 
授予国别: 中国
部门归属: 大连化物所
产权排名: 1
专利名称: 一种超高真空表面分析系统中的电子束加热器;  一种超高真空表面分析系统中的电子束加热器
公开日期: 2009-07-08 ;  2011-07-11
优先权数据: 待填写
PCT申请数据: 待填写
PCT公布数据: 待填写
状态: 授权
资助者: 大连化物所
摘要: 本实用新型公开了一种超高真空表面分析系统中的电子束加热器,在样品台下方设置有上端开口的环形的金属电子屏蔽罩,电子屏蔽罩的下方设置有样品台支撑杆,样品台支撑杆的下方设置有真空法兰;于所述环形的电子屏蔽罩内设置有电子枪灯丝,电子枪灯丝的四周设置有金属电子枪灯丝罩,电子枪灯丝通过导线与控制电源相连;在电子枪灯丝上方的电子枪灯丝罩和样品台上分别开设有孔,电子枪灯丝罩上的开孔与样品台上的开孔相对应。本实用新型利用热发射的电子束轰击样品背面实现能量的传递来加热样品,能够显著提高超高真空表面分析系统处理多种样品的能力,特别适用于高熔点金属样品,也可以处理SiC等半导体薄片。
英文摘要: 带填写
语种: 中文
内容类型: 专利
URI标识: http://cas-ir.dicp.ac.cn/handle/321008/107599
Appears in Collections:中国科学院大连化学物理研究所_专利

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马 腾,谭大力,傅 强,等. 一种超高真空表面分析系统中的电子束加热器, 一种超高真空表面分析系统中的电子束加热器. CN200820218629.3. 2009.
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