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DICP OpenIR  > 中国科学院大连化学物理研究所  > 专利
学科主题: 物理化学
专利名称: 一种毛细管刻蚀导通的方法;  一种毛细管刻蚀导通的方法
发明人: 张丽华 ;  孙良亮 ;  段继诚 ;  朱贵杰 ;  张维冰 ;  梁 振 ;  张玉奎
申请受理号: CN200710159023.7
专利授权号: CN200710159023.7
申请日期: 2007-12-19
授权日期: 2009-06-24
代理机构: 马驰 ;  周秀梅
专利权人: 中国科学院大连化学物理研究所
专利类别: 发明
关键词: 物理化学
专利证书号: 带填写
是否PCT专利: 
授予国别: 中国
部门归属: 大连化物所
产权排名: 1
专利名称: 一种毛细管刻蚀导通的方法;  一种毛细管刻蚀导通的方法
公开日期: 2009-06-24 ;  2011-07-11
优先权数据: 待填写
PCT申请数据: 待填写
PCT公布数据: 待填写
状态: 视撤
资助者: 大连化物所
摘要: 本发明涉及一种毛细管刻蚀导通的方法,此方法包括两个步骤:用工具对石英毛细管很小的区域进行处理,使毛细管此区域的聚酰亚胺层去掉,壁厚明显减小;将毛细管的处理部分浸没在氢氟酸中进行刻蚀,直至导通。本发明的优点为与传统的刻蚀方法相比,此方法刻蚀导通的毛细管刚性强,不易断裂;此刻蚀方法成功率高;刻蚀导通时间变短;刻蚀过程操作简单方便。
英文摘要: 带填写
语种: 中文
内容类型: 专利
URI标识: http://cas-ir.dicp.ac.cn/handle/321008/107621
Appears in Collections:中国科学院大连化学物理研究所_专利

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张丽华,孙良亮,段继诚,等. 一种毛细管刻蚀导通的方法, 一种毛细管刻蚀导通的方法. CN200710159023.7. 2009.
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