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学科主题物理化学
一种毛细管刻蚀导通的方法; 一种毛细管刻蚀导通的方法; 一种毛细管刻蚀导通的方法; 一种毛细管刻蚀导通的方法
张丽华; 孙良亮; 段继诚; 朱贵杰; 张维冰; 梁 振; 张玉奎
申请受理号CN200710159023.7
专利授权号CN200710159023.7
申请日期2007-12-19
2009-06-24
代理机构马驰 ; 周秀梅
专利权人中国科学院大连化学物理研究所
专利类别发明
关键词物理化学
专利证书号带填写
是否PCT专利
授予国别中国
部门归属大连化物所
产权排名1
一种毛细管刻蚀导通的方法; 一种毛细管刻蚀导通的方法; 一种毛细管刻蚀导通的方法; 一种毛细管刻蚀导通的方法
公开日期2009-06-24 ; 2011-07-11
优先权数据待填写
PCT申请数据待填写
PCT公布数据待填写
状态视撤
资助者大连化物所
英文摘要本发明涉及一种毛细管刻蚀导通的方法,此方法包括两个步骤:用工具对石英毛细管很小的区域进行处理,使毛细管此区域的聚酰亚胺层去掉,壁厚明显减小;将毛细管的处理部分浸没在氢氟酸中进行刻蚀,直至导通。本发明的优点为与传统的刻蚀方法相比,此方法刻蚀导通的毛细管刚性强,不易断裂;此刻蚀方法成功率高;刻蚀导通时间变短;刻蚀过程操作简单方便。; 带填写
语种中文
文献类型专利
条目标识符http://cas-ir.dicp.ac.cn/handle/321008/107621
专题中国科学院大连化学物理研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
张丽华,孙良亮,段继诚,等. 一种毛细管刻蚀导通的方法, 一种毛细管刻蚀导通的方法, 一种毛细管刻蚀导通的方法, 一种毛细管刻蚀导通的方法. CN200710159023.7[P]. 2009-06-24.
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