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DICP OpenIR  > 中国科学院大连化学物理研究所  > 专利
学科主题: 物理化学
专利名称: 一种化学刻蚀机;  一种化学刻蚀机
发明人: 李恒强 ;  陈光文
申请受理号: CN200420093078.4
专利授权号: CN200420093078.4
申请日期: 2004-09-06
授权日期: 2005-09-21
代理机构: 周长兴
专利权人: 中国科学院大连化学物理研究所
专利类别: 实用新型
关键词: 物理化学
专利证书号: 带填写
是否PCT专利: 
授予国别: 中国
部门归属: 大连化物所
产权排名: 1
专利名称: 一种化学刻蚀机;  一种化学刻蚀机
公开日期: 2005-09-21 ;  2011-07-11
优先权数据: 待填写
PCT申请数据: 待填写
PCT公布数据: 待填写
状态: 终止
资助者: 大连化物所
摘要: 一种小型化学刻蚀机是由振荡器、刻蚀槽、固定支架、加热器和温度控制器组成。刻蚀机的振荡器速度可调,刻蚀槽温度可从室温至90℃之间可调,特别适合于不锈钢薄板的化学刻蚀。同时也可以用于硅片、瓷片、铝片、玻璃、有机玻璃、及合金材料的化学刻蚀。本刻蚀机具有体积小,重量轻,能耗小,结构简单,价格低廉,操作方便,控温精度高的特点。是一种小巧,经济实用的湿法化学刻蚀机。
英文摘要: 带填写
语种: 中文
内容类型: 专利
URI标识: http://cas-ir.dicp.ac.cn/handle/321008/109151
Appears in Collections:中国科学院大连化学物理研究所_专利

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李恒强,陈光文. 一种化学刻蚀机, 一种化学刻蚀机. CN200420093078.4. 2005.
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