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学科主题物理化学
一种化学刻蚀机; 一种化学刻蚀机; 一种化学刻蚀机; 一种化学刻蚀机
李恒强; 陈光文
申请受理号CN200420093078.4
专利授权号CN200420093078.4
申请日期2004-09-06
2005-09-21
代理机构周长兴
专利权人中国科学院大连化学物理研究所
专利类别实用新型
关键词物理化学
专利证书号带填写
是否PCT专利
授予国别中国
部门归属大连化物所
产权排名1
一种化学刻蚀机; 一种化学刻蚀机; 一种化学刻蚀机; 一种化学刻蚀机
公开日期2005-09-21 ; 2011-07-11
优先权数据待填写
PCT申请数据待填写
PCT公布数据待填写
状态终止
资助者大连化物所
英文摘要一种小型化学刻蚀机是由振荡器、刻蚀槽、固定支架、加热器和温度控制器组成。刻蚀机的振荡器速度可调,刻蚀槽温度可从室温至90℃之间可调,特别适合于不锈钢薄板的化学刻蚀。同时也可以用于硅片、瓷片、铝片、玻璃、有机玻璃、及合金材料的化学刻蚀。本刻蚀机具有体积小,重量轻,能耗小,结构简单,价格低廉,操作方便,控温精度高的特点。是一种小巧,经济实用的湿法化学刻蚀机。; 带填写
语种中文
文献类型专利
条目标识符http://cas-ir.dicp.ac.cn/handle/321008/109151
专题中国科学院大连化学物理研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
李恒强,陈光文. 一种化学刻蚀机, 一种化学刻蚀机, 一种化学刻蚀机, 一种化学刻蚀机. CN200420093078.4[P]. 2005-09-21.
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