中国科学院大连化学物理研究所机构知识库
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DICP OpenIR  > 中国科学院大连化学物理研究所  > 专利
学科主题: 物理化学
专利名称: 一种专用于微流控芯片制作的光刻机;  一种专用于微流控芯片制作的光刻机
发明人: 戴忠鹏 ;  林炳承
申请受理号: CN02274235.2
专利授权号: CN02274235.2
申请日期: 2002-07-18
授权日期: 2003-06-11
代理机构: 张晨
专利权人: 中国科学院大连化学物理研究所
专利类别: 实用新型
关键词: 物理化学
专利证书号: 带填写
是否PCT专利: 
授予国别: 中国
部门归属: 大连化物所
产权排名: 1
专利名称: 一种专用于微流控芯片制作的光刻机;  一种专用于微流控芯片制作的光刻机
公开日期: 2003-06-11 ;  2011-07-11
优先权数据: 待填写
PCT申请数据: 待填写
PCT公布数据: 待填写
状态: 终止
资助者: 大连化物所
摘要: 一种专用于微流控芯片制作光刻机,其特征在于:该光刻机主要由一暗箱、一高压汞灯、一匀光透镜组合而成,高压汞灯置于暗箱中并装在箱壁上,匀光透镜置于与其相对的箱壁上。本实用新型造价低廉,性能可靠,结构简单,操作方便。
英文摘要: 带填写
语种: 中文
内容类型: 专利
URI标识: http://cas-ir.dicp.ac.cn/handle/321008/109811
Appears in Collections:中国科学院大连化学物理研究所_专利

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戴忠鹏,林炳承. 一种专用于微流控芯片制作的光刻机, 一种专用于微流控芯片制作的光刻机. CN02274235.2. 2003.
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