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学科主题物理化学
一种专用于微流控芯片制作的光刻机; 一种专用于微流控芯片制作的光刻机; 一种专用于微流控芯片制作的光刻机; 一种专用于微流控芯片制作的光刻机
戴忠鹏; 林炳承
申请受理号CN02274235.2
专利授权号CN02274235.2
申请日期2002-07-18
2003-06-11
代理机构张晨
专利权人中国科学院大连化学物理研究所
专利类别实用新型
关键词物理化学
专利证书号带填写
是否PCT专利
授予国别中国
部门归属大连化物所
产权排名1
一种专用于微流控芯片制作的光刻机; 一种专用于微流控芯片制作的光刻机; 一种专用于微流控芯片制作的光刻机; 一种专用于微流控芯片制作的光刻机
公开日期2003-06-11 ; 2011-07-11
优先权数据待填写
PCT申请数据待填写
PCT公布数据待填写
状态终止
资助者大连化物所
英文摘要一种专用于微流控芯片制作光刻机,其特征在于:该光刻机主要由一暗箱、一高压汞灯、一匀光透镜组合而成,高压汞灯置于暗箱中并装在箱壁上,匀光透镜置于与其相对的箱壁上。本实用新型造价低廉,性能可靠,结构简单,操作方便。; 带填写
语种中文
文献类型专利
条目标识符http://cas-ir.dicp.ac.cn/handle/321008/109811
专题中国科学院大连化学物理研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
戴忠鹏,林炳承. 一种专用于微流控芯片制作的光刻机, 一种专用于微流控芯片制作的光刻机, 一种专用于微流控芯片制作的光刻机, 一种专用于微流控芯片制作的光刻机. CN02274235.2[P]. 2003-06-11.
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