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Subject Area物理化学
一种专用于微流控芯片制作的光刻机; 一种专用于微流控芯片制作的光刻机; 一种专用于微流控芯片制作的光刻机; 一种专用于微流控芯片制作的光刻机
戴忠鹏; 林炳承
Application NumberCN02274235.2
Patent NumberCN02274235.2
Application Date2002-07-18
2003-06-11
Patent Agent张晨
Rights Holder中国科学院大连化学物理研究所
Subtype实用新型
Keyword物理化学
Certificate Number带填写
PCT Attributes
Country中国
Department大连化物所
Contribution Rank1
一种专用于微流控芯片制作的光刻机; 一种专用于微流控芯片制作的光刻机; 一种专用于微流控芯片制作的光刻机; 一种专用于微流控芯片制作的光刻机
Date Available2003-06-11 ; 2011-07-11
description.patentprioritydata待填写
description.pctapplicationdata待填写
description.pctpublicationdata待填写
Status终止
Funding Organization大连化物所
Abstract一种专用于微流控芯片制作光刻机,其特征在于:该光刻机主要由一暗箱、一高压汞灯、一匀光透镜组合而成,高压汞灯置于暗箱中并装在箱壁上,匀光透镜置于与其相对的箱壁上。本实用新型造价低廉,性能可靠,结构简单,操作方便。; 带填写
Language中文
Document Type专利
Identifierhttp://cas-ir.dicp.ac.cn/handle/321008/109811
Collection中国科学院大连化学物理研究所
Recommended Citation
GB/T 7714
戴忠鹏,林炳承. 一种专用于微流控芯片制作的光刻机, 一种专用于微流控芯片制作的光刻机, 一种专用于微流控芯片制作的光刻机, 一种专用于微流控芯片制作的光刻机. CN02274235.2[P]. 2003-06-11.
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