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学科主题物理化学
氮(氩、氦)通用终端超净装置及精制流程; 氮(氩、氦)通用终端超净装置及精制流程; 氮(氩、氦)通用终端超净装置及精制流程; 氮(氩、氦)通用终端超净装置及精制流程
程德鑫; 孔照荣; 唐学渊; 张儒杰; 张俊香; 蔡体杰; 李景芝; 张喜善; 高增; 吴华春; 钟秀贞; 储毅; 王武明; 赵敏; 韩同生; 李康善
申请受理号CN90105033.4
专利授权号CN90105033.4
申请日期1990-02-20
1991-09-04
代理机构汪惠民
专利权人中国科学院大连化学物理研究所 ; 化学工业部光明化工研究所
专利类别发明
关键词物理化学
专利证书号带填写
是否PCT专利
授予国别中国
部门归属大连化物所
产权排名1
氮(氩、氦)通用终端超净装置及精制流程; 氮(氩、氦)通用终端超净装置及精制流程; 氮(氩、氦)通用终端超净装置及精制流程; 氮(氩、氦)通用终端超净装置及精制流程
公开日期1991-09-04 ; 2011-07-11
优先权数据待填写
PCT申请数据待填写
PCT公布数据待填写
状态终止
资助者待填写
英文摘要一种氮(氩、氦)通用终端超净装置由RC反 应柱,一对RAC反 应去湿组合柱,GC反应柱和再生活化系统组成。该装置由于在再生活化气路中加有起匀压和控制成品气吹扫量的一阻尼管和控制阀,因此可以采用抽空和吹扫两种再生活化方式相结合。采用这种超净装置可将4N级原料气连续净化成6N级以上超净气体。此外,该装置的抽空机组不必连续抽空运行,吹扫用的成品气只占成品气的1%。; 带填写
语种中文
文献类型专利
条目标识符http://cas-ir.dicp.ac.cn/handle/321008/111083
专题中国科学院大连化学物理研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
程德鑫,孔照荣,唐学渊,等. 氮(氩、氦)通用终端超净装置及精制流程, 氮(氩、氦)通用终端超净装置及精制流程, 氮(氩、氦)通用终端超净装置及精制流程, 氮(氩、氦)通用终端超净装置及精制流程. CN90105033.4[P]. 1991-09-04.
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