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Subject Area物理化学
氮(氩、氦)通用终端超净装置及精制流程; 氮(氩、氦)通用终端超净装置及精制流程; 氮(氩、氦)通用终端超净装置及精制流程; 氮(氩、氦)通用终端超净装置及精制流程
程德鑫; 孔照荣; 唐学渊; 张儒杰; 张俊香; 蔡体杰; 李景芝; 张喜善; 高增; 吴华春; 钟秀贞; 储毅; 王武明; 赵敏; 韩同生; 李康善
Application NumberCN90105033.4
Patent NumberCN90105033.4
Application Date1990-02-20
1991-09-04
Patent Agent汪惠民
Rights Holder中国科学院大连化学物理研究所 ; 化学工业部光明化工研究所
Subtype发明
Keyword物理化学
Certificate Number带填写
PCT Attributes
Country中国
Department大连化物所
Contribution Rank1
氮(氩、氦)通用终端超净装置及精制流程; 氮(氩、氦)通用终端超净装置及精制流程; 氮(氩、氦)通用终端超净装置及精制流程; 氮(氩、氦)通用终端超净装置及精制流程
Date Available1991-09-04 ; 2011-07-11
description.patentprioritydata待填写
description.pctapplicationdata待填写
description.pctpublicationdata待填写
Status终止
Funding Organization待填写
Abstract一种氮(氩、氦)通用终端超净装置由RC反 应柱,一对RAC反 应去湿组合柱,GC反应柱和再生活化系统组成。该装置由于在再生活化气路中加有起匀压和控制成品气吹扫量的一阻尼管和控制阀,因此可以采用抽空和吹扫两种再生活化方式相结合。采用这种超净装置可将4N级原料气连续净化成6N级以上超净气体。此外,该装置的抽空机组不必连续抽空运行,吹扫用的成品气只占成品气的1%。; 带填写
Language中文
Document Type专利
Identifierhttp://cas-ir.dicp.ac.cn/handle/321008/111083
Collection中国科学院大连化学物理研究所
Recommended Citation
GB/T 7714
程德鑫,孔照荣,唐学渊,等. 氮(氩、氦)通用终端超净装置及精制流程, 氮(氩、氦)通用终端超净装置及精制流程, 氮(氩、氦)通用终端超净装置及精制流程, 氮(氩、氦)通用终端超净装置及精制流程. CN90105033.4[P]. 1991-09-04.
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