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学科主题物理化学
Experimental Study of Discharge Characteristics and Fluorine Atom Yield on DC Discharge of NF3/He
Duo LP(多丽萍); Tang SK(唐书凯); Yu HJ(于海军); Wang J(汪健); Li LC(李留成); Jin YQ(金玉奇); Yang BL(杨柏龄); Sang FT(桑凤亭)
会议名称XVI. International Symposium on Gas Flow and Chemical Lasers & High Power Lasers Conference
会议日期2006-9-4
2006-09-04
会议地点奥地利
页码121/1
部门归属七室
英文摘要DC discharge characteristics of NF3/He have investigated experimentally at many kinds of experimental conditions, for example, different electrodes meterial, a few of distance between the two electrodes, flow rates of the gas NF3 or He, a series of series-wound resistances and give the steady and optimum discharge parameters finally. Fluorine atom yield from the DC discharge of NF3/He have studied experimentally and the relationship of fluorine atom yield and the load power is shown for the first time.
语种中文
文献类型会议论文
条目标识符http://cas-ir.dicp.ac.cn/handle/321008/112460
专题中国科学院大连化学物理研究所
通讯作者Duo LP(多丽萍)
推荐引用方式
GB/T 7714
Duo LP,Tang SK,Yu HJ,et al. Experimental Study of Discharge Characteristics and Fluorine Atom Yield on DC Discharge of NF3/He[C],2006:121/1.
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