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学科主题物理化学
一种以太阳光为曝光光源制作微流控芯片的方法及其应用; 一种以太阳光为曝光光源制作微流控芯片的方法及其应用; 一种以太阳光为曝光光源制作微流控芯片的方法及其应用; 一种以太阳光为曝光光源制作微流控芯片的方法及其应用
秦建华; 马静云; 姜雷; 李艳峰; 林炳承
申请受理号CN201010112969.X
专利授权号CN201010112969.X
申请日期2010-02-24
2011
代理机构张晨
专利权人中国科学院大连化学物理研究所
专利类别发明
关键词物理化学
专利证书号待填写
是否PCT专利待填写
授予国别中文
部门归属大连化物所
产权排名1
一种以太阳光为曝光光源制作微流控芯片的方法及其应用; 一种以太阳光为曝光光源制作微流控芯片的方法及其应用; 一种以太阳光为曝光光源制作微流控芯片的方法及其应用; 一种以太阳光为曝光光源制作微流控芯片的方法及其应用
公开日期2011-08-24
状态实审
资助者中国科学院大连化学物理研究所;辽宁石油化工大学
英文摘要一种以太阳光为曝光光源制作微流控芯片的方法及其应用,本发明以自然界中最易获得的太阳光作为曝光光源,避免了常规光刻中较为昂贵的光刻机的使用,待曝光的光刻胶平板放在与太阳光相垂直的方向曝光即可,通过UV能量检测器校正阳光下的曝光时长,可以得到光刻胶上各种尺寸微图案良好的曝光结果;这种方法简易、廉价、易于操作、环境友好,而且可以进行芯片的批量生产,期望有益于仪器购买基金不足或处于起步阶段的实验室进入到微流控芯片领域。; 待填写
语种中文
文献类型专利
条目标识符http://cas-ir.dicp.ac.cn/handle/321008/116186
专题中国科学院大连化学物理研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
秦建华,马静云,姜雷,等. 一种以太阳光为曝光光源制作微流控芯片的方法及其应用, 一种以太阳光为曝光光源制作微流控芯片的方法及其应用, 一种以太阳光为曝光光源制作微流控芯片的方法及其应用, 一种以太阳光为曝光光源制作微流控芯片的方法及其应用. CN201010112969.X[P]. 2011-01-01.
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