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Subject Area物理化学
一种薄膜的测漏装置及检测方法; 一种薄膜的测漏装置及检测方法; 一种薄膜的测漏装置及检测方法; 一种薄膜的测漏装置及检测方法
刘景开; 张华民; 高素军
Application NumberCN201010210132.9
Patent NumberCN201010210132.9
Application Date2010-06-25
2011
Patent Agent马驰
Rights Holder中国科学院大连化学物理研究所 ; 大连融科储能技术发展有限公司
Subtype发明
Keyword物理化学
Certificate Number待填写
PCT Attributes待填写
Country中文
Department大连化物所
Contribution Rank1
一种薄膜的测漏装置及检测方法; 一种薄膜的测漏装置及检测方法; 一种薄膜的测漏装置及检测方法; 一种薄膜的测漏装置及检测方法
Date Available2011-12-28
Status实审
Funding Organization中国科学院大连化学物理研究所;辽宁石油化工大学
Abstract本发明涉及一种薄膜的测漏装置及其检测方法;侧漏装置包括带凹槽的底座、作为支撑的孔板或钢性筛网、中空的环形上盖;孔板或钢性筛网设置于带凹槽的底座上方,凹槽的内壁上开设有贯穿底座的进气孔;孔板或钢性筛网扣置于凹槽,环形上盖设置于孔板或钢性筛网的上方,将孔板或钢性筛网压紧于底座上。采用本发明可有效的提高对薄膜测漏的效率。; 待填写
Language中文
Document Type专利
Identifierhttp://cas-ir.dicp.ac.cn/handle/321008/116263
Collection中国科学院大连化学物理研究所
Recommended Citation
GB/T 7714
刘景开,张华民,高素军. 一种薄膜的测漏装置及检测方法, 一种薄膜的测漏装置及检测方法, 一种薄膜的测漏装置及检测方法, 一种薄膜的测漏装置及检测方法. CN201010210132.9[P]. 2011-01-01.
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