DICP OpenIR
学科主题物理化学
一种三氯氢硅还原生产多晶硅循环氢气提纯处理方法; 一种三氯氢硅还原生产多晶硅循环氢气提纯处理方法; 一种三氯氢硅还原生产多晶硅循环氢气提纯处理方法; 一种三氯氢硅还原生产多晶硅循环氢气提纯处理方法
徐恒泳; 唐春华; 孙剑; 董恩宁; 侯守福
申请受理号CN201110200460.5
专利授权号CN201110200460.5
申请日期2011-07-18
2011
代理机构马驰
专利权人中国科学院大连化学物理研究所
专利类别发明
关键词物理化学
专利证书号待填写
是否PCT专利待填写
授予国别中文
部门归属大连化物所
产权排名1
一种三氯氢硅还原生产多晶硅循环氢气提纯处理方法; 一种三氯氢硅还原生产多晶硅循环氢气提纯处理方法; 一种三氯氢硅还原生产多晶硅循环氢气提纯处理方法; 一种三氯氢硅还原生产多晶硅循环氢气提纯处理方法
公开日期2012-01-25
状态实审
资助者中国科学院大连化学物理研究所;辽宁石油化工大学
英文摘要一种三氯氢硅还原生产多晶硅循环氢气提纯处理方法。采用两组串联的金属钯复合膜氢气纯化器,对三氯氢硅还原循环氢气进行提纯处理,其中第一组金属钯复合膜氢气纯化器相对较大,提纯处理的超纯氢气(H2纯度>99.9999%)返回还原炉,用于三氯氢硅还原的原料气,而第二组氢气纯化器相对较小,提纯处理的高纯氢气(H2纯度-99.999%)去冷氢化工段作为原料气。该方法提纯处理循环氢气的回收率可以达到99%。当循环氢气中氯化氢含量较高时,需要采取必要的脱氯措施使得HCl含量降低到0.5ppm以下。利用该方法提纯的氢气生产多晶硅,可以明显提高多晶硅产品的纯度和质量,具有明显的节能减排效应。; 待填写
语种中文
文献类型专利
条目标识符http://cas-ir.dicp.ac.cn/handle/321008/116274
专题中国科学院大连化学物理研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
徐恒泳,唐春华,孙剑,等. 一种三氯氢硅还原生产多晶硅循环氢气提纯处理方法, 一种三氯氢硅还原生产多晶硅循环氢气提纯处理方法, 一种三氯氢硅还原生产多晶硅循环氢气提纯处理方法, 一种三氯氢硅还原生产多晶硅循环氢气提纯处理方法. CN201110200460.5[P]. 2011-01-01.
条目包含的文件
条目无相关文件。
个性服务
推荐该条目
保存到收藏夹
查看访问统计
导出为Endnote文件
谷歌学术
谷歌学术中相似的文章
[徐恒泳]的文章
[唐春华]的文章
[孙剑]的文章
百度学术
百度学术中相似的文章
[徐恒泳]的文章
[唐春华]的文章
[孙剑]的文章
必应学术
必应学术中相似的文章
[徐恒泳]的文章
[唐春华]的文章
[孙剑]的文章
相关权益政策
暂无数据
收藏/分享
所有评论 (0)
暂无评论
 

除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。