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Subject Area物理化学
一种三氯氢硅还原生产多晶硅循环氢气提纯处理方法; 一种三氯氢硅还原生产多晶硅循环氢气提纯处理方法; 一种三氯氢硅还原生产多晶硅循环氢气提纯处理方法; 一种三氯氢硅还原生产多晶硅循环氢气提纯处理方法
徐恒泳; 唐春华; 孙剑; 董恩宁; 侯守福
Application NumberCN201110200460.5
Patent NumberCN201110200460.5
Application Date2011-07-18
2011
Patent Agent马驰
Rights Holder中国科学院大连化学物理研究所
Subtype发明
Keyword物理化学
Certificate Number待填写
PCT Attributes待填写
Country中文
Department大连化物所
Contribution Rank1
一种三氯氢硅还原生产多晶硅循环氢气提纯处理方法; 一种三氯氢硅还原生产多晶硅循环氢气提纯处理方法; 一种三氯氢硅还原生产多晶硅循环氢气提纯处理方法; 一种三氯氢硅还原生产多晶硅循环氢气提纯处理方法
Date Available2012-01-25
Status实审
Funding Organization中国科学院大连化学物理研究所;辽宁石油化工大学
Abstract一种三氯氢硅还原生产多晶硅循环氢气提纯处理方法。采用两组串联的金属钯复合膜氢气纯化器,对三氯氢硅还原循环氢气进行提纯处理,其中第一组金属钯复合膜氢气纯化器相对较大,提纯处理的超纯氢气(H2纯度>99.9999%)返回还原炉,用于三氯氢硅还原的原料气,而第二组氢气纯化器相对较小,提纯处理的高纯氢气(H2纯度-99.999%)去冷氢化工段作为原料气。该方法提纯处理循环氢气的回收率可以达到99%。当循环氢气中氯化氢含量较高时,需要采取必要的脱氯措施使得HCl含量降低到0.5ppm以下。利用该方法提纯的氢气生产多晶硅,可以明显提高多晶硅产品的纯度和质量,具有明显的节能减排效应。; 待填写
Language中文
Document Type专利
Identifierhttp://cas-ir.dicp.ac.cn/handle/321008/116274
Collection中国科学院大连化学物理研究所
Recommended Citation
GB/T 7714
徐恒泳,唐春华,孙剑,等. 一种三氯氢硅还原生产多晶硅循环氢气提纯处理方法, 一种三氯氢硅还原生产多晶硅循环氢气提纯处理方法, 一种三氯氢硅还原生产多晶硅循环氢气提纯处理方法, 一种三氯氢硅还原生产多晶硅循环氢气提纯处理方法. CN201110200460.5[P]. 2011-01-01.
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