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Subject Area物理化学
一种使用碳化钽包覆钽丝为催化剂制备硅薄膜的方法; 一种使用碳化钽包覆钽丝为催化剂制备硅薄膜的方法; 一种使用碳化钽包覆钽丝为催化剂制备硅薄膜的方法; 一种使用碳化钽包覆钽丝为催化剂制备硅薄膜的方法
李灿; 程士敏; 任通; 高惠平; 应品良
Application NumberCN201010238694.4
Patent NumberCN201010238694.4
Application Date2010-07-28
2011
Patent Agent马驰
Rights Holder中国科学院大连化学物理研究所
Subtype发明
Keyword物理化学
Certificate Number待填写
PCT Attributes待填写
Country中文
Department大连化物所
Contribution Rank1
一种使用碳化钽包覆钽丝为催化剂制备硅薄膜的方法; 一种使用碳化钽包覆钽丝为催化剂制备硅薄膜的方法; 一种使用碳化钽包覆钽丝为催化剂制备硅薄膜的方法; 一种使用碳化钽包覆钽丝为催化剂制备硅薄膜的方法
Date Available2012-02-01
Status实审
Funding Organization中国科学院大连化学物理研究所;辽宁石油化工大学
Abstract本发明涉及一种以碳化钽包覆钽丝为催化剂用于热丝化学气相沉积制备硅薄膜的方法。将此热丝催化剂用于硅薄膜的制备,催化剂表面的碳化钽层得到了很好的保持,没有观测到硅化物的生成,即表现出很好的抗老化性能,具有明显延长热丝催化剂使用寿命的潜力。本催化剂制备方法简单,条件易于控制,适用于热丝化学气相沉积制备各种晶化度的本征、掺杂及化合物硅薄膜。; 待填写
Language中文
Document Type专利
Identifierhttp://cas-ir.dicp.ac.cn/handle/321008/116277
Collection中国科学院大连化学物理研究所
Recommended Citation
GB/T 7714
李灿,程士敏,任通,等. 一种使用碳化钽包覆钽丝为催化剂制备硅薄膜的方法, 一种使用碳化钽包覆钽丝为催化剂制备硅薄膜的方法, 一种使用碳化钽包覆钽丝为催化剂制备硅薄膜的方法, 一种使用碳化钽包覆钽丝为催化剂制备硅薄膜的方法. CN201010238694.4[P]. 2011-01-01.
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