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DICP OpenIR  > 中国科学院大连化学物理研究所  > 专利
学科主题: 物理化学
专利名称: 一种使用碳化钽包覆钽丝为催化剂制备硅薄膜的方法;  一种使用碳化钽包覆钽丝为催化剂制备硅薄膜的方法
发明人: 李灿 ;  程士敏 ;  任通 ;  高惠平 ;  应品良
申请受理号: CN201010238694.4
专利授权号: CN201010238694.4
申请日期: 2010-07-28
授权日期: 2011
代理机构: 马驰
专利权人: 中国科学院大连化学物理研究所
专利类别: 发明
关键词: 物理化学
专利证书号: 待填写
是否PCT专利: 待填写
授予国别: 中文
部门归属: 大连化物所
产权排名: 1
专利名称: 一种使用碳化钽包覆钽丝为催化剂制备硅薄膜的方法;  一种使用碳化钽包覆钽丝为催化剂制备硅薄膜的方法
公开日期: 2012-02-01
状态: 实审
资助者: 中国科学院大连化学物理研究所;辽宁石油化工大学
摘要: 本发明涉及一种以碳化钽包覆钽丝为催化剂用于热丝化学气相沉积制备硅薄膜的方法。将此热丝催化剂用于硅薄膜的制备,催化剂表面的碳化钽层得到了很好的保持,没有观测到硅化物的生成,即表现出很好的抗老化性能,具有明显延长热丝催化剂使用寿命的潜力。本催化剂制备方法简单,条件易于控制,适用于热丝化学气相沉积制备各种晶化度的本征、掺杂及化合物硅薄膜。
英文摘要: 待填写
语种: 中文
内容类型: 专利
URI标识: http://cas-ir.dicp.ac.cn/handle/321008/116277
Appears in Collections:中国科学院大连化学物理研究所_专利

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李灿,程士敏,任通,等. 一种使用碳化钽包覆钽丝为催化剂制备硅薄膜的方法, 一种使用碳化钽包覆钽丝为催化剂制备硅薄膜的方法. CN201010238694.4. 2011.
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