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学科主题物理化学
一种使用碳化钽包覆钽丝为催化剂制备硅薄膜的方法; 一种使用碳化钽包覆钽丝为催化剂制备硅薄膜的方法; 一种使用碳化钽包覆钽丝为催化剂制备硅薄膜的方法; 一种使用碳化钽包覆钽丝为催化剂制备硅薄膜的方法
李灿; 程士敏; 任通; 高惠平; 应品良
申请受理号CN201010238694.4
专利授权号CN201010238694.4
申请日期2010-07-28
2011
代理机构马驰
专利权人中国科学院大连化学物理研究所
专利类别发明
关键词物理化学
专利证书号待填写
是否PCT专利待填写
授予国别中文
部门归属大连化物所
产权排名1
一种使用碳化钽包覆钽丝为催化剂制备硅薄膜的方法; 一种使用碳化钽包覆钽丝为催化剂制备硅薄膜的方法; 一种使用碳化钽包覆钽丝为催化剂制备硅薄膜的方法; 一种使用碳化钽包覆钽丝为催化剂制备硅薄膜的方法
公开日期2012-02-01
状态实审
资助者中国科学院大连化学物理研究所;辽宁石油化工大学
英文摘要本发明涉及一种以碳化钽包覆钽丝为催化剂用于热丝化学气相沉积制备硅薄膜的方法。将此热丝催化剂用于硅薄膜的制备,催化剂表面的碳化钽层得到了很好的保持,没有观测到硅化物的生成,即表现出很好的抗老化性能,具有明显延长热丝催化剂使用寿命的潜力。本催化剂制备方法简单,条件易于控制,适用于热丝化学气相沉积制备各种晶化度的本征、掺杂及化合物硅薄膜。; 待填写
语种中文
文献类型专利
条目标识符http://cas-ir.dicp.ac.cn/handle/321008/116277
专题中国科学院大连化学物理研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
李灿,程士敏,任通,等. 一种使用碳化钽包覆钽丝为催化剂制备硅薄膜的方法, 一种使用碳化钽包覆钽丝为催化剂制备硅薄膜的方法, 一种使用碳化钽包覆钽丝为催化剂制备硅薄膜的方法, 一种使用碳化钽包覆钽丝为催化剂制备硅薄膜的方法. CN201010238694.4[P]. 2011-01-01.
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