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DICP OpenIR  > 中国科学院大连化学物理研究所  > 专利
学科主题: 物理化学
专利名称: 一种超纯氢气制造装置;  一种超纯氢气制造装置
发明人: 徐恒泳 ;  侯守福 ;  于晓东 ;  董恩宁 ;  孙剑
申请受理号: CN201120253262.0
专利授权号: CN201120253262.0
申请日期: 2011-07-18
授权日期: 2012-02-15
代理机构: 马驰
专利权人: 中国科学院大连化学物理研究所
专利类别: 实用新型
关键词: 物理化学
专利证书号: 待填写
是否PCT专利: 待填写
授予国别: 中文
部门归属: 大连化物所
产权排名: 1
专利名称: 一种超纯氢气制造装置;  一种超纯氢气制造装置
公开日期: 2012-02-15
状态: 授权
资助者: 中国科学院大连化学物理研究所;辽宁石油化工大学
摘要: 本实用新型公开了一种超纯氢气制造装置,包括原料氢气缓冲罐,过滤器,流量控制阀,加热器,金属钯复合膜氢气纯化器,换热器,氢气储罐。原料氢气缓冲罐(11)的气体出口通过管路依次经过滤器(12)、流量控制阀(13)和加热器(14)后与金属钯复合膜氢气纯化器(15)的入口相连,金属钯复合膜氢气纯化器(15)的出口通过管路经换热器(16)换热后与氢气储罐(17)相连;金属钯复合膜氢气纯化器(15)的尾气出口排空。本装置制造超纯氢气,具有投资省和生产成本低的优点,可用于为多晶硅生产和LED外延片生长等提供廉价超纯氢气。
英文摘要: 待填写
语种: 中文
内容类型: 专利
URI标识: http://cas-ir.dicp.ac.cn/handle/321008/116285
Appears in Collections:中国科学院大连化学物理研究所_专利

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徐恒泳,侯守福,于晓东,等. 一种超纯氢气制造装置, 一种超纯氢气制造装置. CN201120253262.0. 2012.
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