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学科主题物理化学
一种多晶硅生产循环氢气提纯氢气的方法; 一种多晶硅生产循环氢气提纯氢气的方法; 一种多晶硅生产循环氢气提纯氢气的方法; 一种多晶硅生产循环氢气提纯氢气的方法
徐恒泳; 王新平; 唐雨东; 孙剑
申请受理号CN201110201561.4
专利授权号CN201110201561.4
申请日期2011-07-18
2011
代理机构马驰
专利权人中国科学院大连化学物理研究所 ; 王新平
专利类别发明
关键词物理化学
专利证书号待填写
是否PCT专利待填写
授予国别中文
部门归属大连化物所
产权排名1
一种多晶硅生产循环氢气提纯氢气的方法; 一种多晶硅生产循环氢气提纯氢气的方法; 一种多晶硅生产循环氢气提纯氢气的方法; 一种多晶硅生产循环氢气提纯氢气的方法
公开日期2012-02-15
状态实审
资助者中国科学院大连化学物理研究所;辽宁石油化工大学
英文摘要一种多晶硅生产过程中三氯氢硅还原循环氢气提纯氢气的方法。采用金属钯复合膜氢气纯化器对三氯氢硅还原循环氢气中的各种杂质进行拦截,使得氢气的纯度提高1-3个数量级,各种杂质浓度降低1-3个数量级。当循环氢气中氯化氢HCl含量超过3ppm时,需要采取必要的脱氯措施使得HCl含量降低到0.5ppm以下。利用该方法提纯的氢气生产多晶硅,不仅可以明显提高多晶硅产品的纯度和质量,而且可以明显降低生产过程的氢耗、能耗和减少污染排放。; 待填写
语种中文
文献类型专利
条目标识符http://cas-ir.dicp.ac.cn/handle/321008/116286
专题中国科学院大连化学物理研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
徐恒泳,王新平,唐雨东,等. 一种多晶硅生产循环氢气提纯氢气的方法, 一种多晶硅生产循环氢气提纯氢气的方法, 一种多晶硅生产循环氢气提纯氢气的方法, 一种多晶硅生产循环氢气提纯氢气的方法. CN201110201561.4[P]. 2011-01-01.
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