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Subject Area物理化学
一种多晶硅生产循环氢气提纯氢气的方法; 一种多晶硅生产循环氢气提纯氢气的方法; 一种多晶硅生产循环氢气提纯氢气的方法; 一种多晶硅生产循环氢气提纯氢气的方法
徐恒泳; 王新平; 唐雨东; 孙剑
Application NumberCN201110201561.4
Patent NumberCN201110201561.4
Application Date2011-07-18
2011
Patent Agent马驰
Rights Holder中国科学院大连化学物理研究所 ; 王新平
Subtype发明
Keyword物理化学
Certificate Number待填写
PCT Attributes待填写
Country中文
Department大连化物所
Contribution Rank1
一种多晶硅生产循环氢气提纯氢气的方法; 一种多晶硅生产循环氢气提纯氢气的方法; 一种多晶硅生产循环氢气提纯氢气的方法; 一种多晶硅生产循环氢气提纯氢气的方法
Date Available2012-02-15
Status实审
Funding Organization中国科学院大连化学物理研究所;辽宁石油化工大学
Abstract一种多晶硅生产过程中三氯氢硅还原循环氢气提纯氢气的方法。采用金属钯复合膜氢气纯化器对三氯氢硅还原循环氢气中的各种杂质进行拦截,使得氢气的纯度提高1-3个数量级,各种杂质浓度降低1-3个数量级。当循环氢气中氯化氢HCl含量超过3ppm时,需要采取必要的脱氯措施使得HCl含量降低到0.5ppm以下。利用该方法提纯的氢气生产多晶硅,不仅可以明显提高多晶硅产品的纯度和质量,而且可以明显降低生产过程的氢耗、能耗和减少污染排放。; 待填写
Language中文
Document Type专利
Identifierhttp://cas-ir.dicp.ac.cn/handle/321008/116286
Collection中国科学院大连化学物理研究所
Recommended Citation
GB/T 7714
徐恒泳,王新平,唐雨东,等. 一种多晶硅生产循环氢气提纯氢气的方法, 一种多晶硅生产循环氢气提纯氢气的方法, 一种多晶硅生产循环氢气提纯氢气的方法, 一种多晶硅生产循环氢气提纯氢气的方法. CN201110201561.4[P]. 2011-01-01.
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