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DICP OpenIR  > 中国科学院大连化学物理研究所  > 会议论文
学科主题: 光学
题名: Residual stress prediction and control of Ta2O5/SiO2 multilayer based on layer structure designing
作者: Deng SW(邓淞文) ;  Wang F(王锋) ;  Liu SF(刘顺福) ;  Li G(李刚) ;  Sun L(孙龙) ;  Jin YQ(金玉奇)
会议文集: Frontiers of Optical Coatings
会议名称: Frontiers of Optical Coatings
会议日期: 2012-10-15
出版日期: 2012-10-15
会议地点: 杭州
通讯作者: 邓淞文
出版者: 待补充
出版地: 待补充
合作性质: 分会口头报告
部门归属: 704
主办者: 中国光学学会
摘要: Residual stress prediction and control of Ta2O5 SiO2 multilayer based on layer structure designing
内容类型: 会议论文
URI标识: http://cas-ir.dicp.ac.cn/handle/321008/117036
Appears in Collections:中国科学院大连化学物理研究所_会议论文

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Deng SW,Wang F,Liu SF,et al. Residual stress prediction and control of Ta2O5/SiO2 multilayer based on layer structure designing[C]. 见:Frontiers of Optical Coatings. 杭州. 2012-10-15.
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