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学科主题光学
Residual stress prediction and control of Ta2O5/SiO2 multilayer based on layer structure designing
Deng SW(邓淞文); Wang F(王锋); Liu SF(刘顺福); Li G(李刚); Sun L(孙龙); Jin YQ(金玉奇)
会议文集Frontiers of Optical Coatings
会议名称Frontiers of Optical Coatings
会议日期2012-10-15
2012-10-15
会议地点杭州
页码6
出版者待补充
出版地待补充
合作性质分会口头报告
部门归属704
主办者中国光学学会
英文摘要Residual stress prediction and control of Ta2O5 SiO2 multilayer based on layer structure designing
文献类型会议论文
条目标识符http://cas-ir.dicp.ac.cn/handle/321008/117036
专题中国科学院大连化学物理研究所
通讯作者Deng SW(邓淞文)
推荐引用方式
GB/T 7714
Deng SW,Wang F,Liu SF,et al. Residual stress prediction and control of Ta2O5/SiO2 multilayer based on layer structure designing[C]. 待补充:待补充,2012:6.
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