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学科主题: 张晨
专利名称: 一种同时含有方形、弧形通道PDMS芯片的制备方法;  一种同时含有方形、弧形通道PDMS芯片的制备方法
发明人: 秦建华 ;  马静云 ;  姜雷 ;  张旭
申请受理号: CN
专利授权号: CN201210438752.7
代理机构: 中国科学院大连化学物理研究所
专利权人: 中国科学院大连化学物理研究所
专利证书号: CN201210438752.7
是否PCT专利: 实审
授予国别: 待填写
部门归属: 带填写
项目归属: 大连化物所
专利名称: 一种同时含有方形、弧形通道PDMS芯片的制备方法;  一种同时含有方形、弧形通道PDMS芯片的制备方法
公开日期: 2012-11-06
状态: 发明
资助者: 一种同时含有方形、弧形通道PDMS芯片的制备方法,步骤包括:通过标准光刻法制备的交联态SU-8阳模与液态PDMS夹合,PDMS固化后,得到反转有阳模图案的阴模PDMS;将阴模PDMS与固态未交联SU-8光刻胶夹合,真空烘箱加热使光刻胶呈流动态充满PDMS通道,得到未交联态的SU-8阳模;对该未交联SU-8阳模选择性曝光,使其局部交联得到方形突起部分;将该阳模加热一定时间,未交联突起部分呈弧形;经全曝光交联反应、后烘、坚模得到定型的SU-8方形、弧形阳模;浇筑以PDMS、固化、脱模得到含有方形、弧形通道的PDMS芯片。本发明制作的芯片应用于集成气动微阀的微流控芯片液路层制备;本发明制备的SU-8阳模不易从基片上脱落,PDMS芯片弧形通道弧度可控,为复杂芯片制备提供了一种简单稳定的制备方法。
英文摘要: 带填写
语种: 2013-3-20
内容类型: 专利
URI标识: http://cas-ir.dicp.ac.cn/handle/321008/118884
Appears in Collections:中国科学院大连化学物理研究所_专利

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秦建华,马静云,姜雷,等. 一种同时含有方形、弧形通道PDMS芯片的制备方法, 一种同时含有方形、弧形通道PDMS芯片的制备方法. CN201210438752.7.
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