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学科主题: 物理化学
题名: Residual stress prediction and control of Ta2O5SiO 2 multilayer based on layer structure designing
作者: Deng SW(邓淞文) ;  Wang F(王锋) ;  Liu SF(刘顺福) ;  Li G(李刚) ;  Sun L(孙龙) ;  Jin YQ(金玉奇)
通讯作者: 邓淞文
刊名: Chinese Optics Letters(中国期刊)
发表日期: 2013
卷: 11, 期:10, 页:10701
合作性质: 
部门归属: 7
项目归属: 704
产权排名: 待补充
资助者: 1,1
英文摘要: Residual stress prediction and control of Ta2O5SiO 2 multilayer based on layer structure designing
语种: 
原文出处: 查看原文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://cas-ir.dicp.ac.cn/handle/321008/119152
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Deng SW,Wang F,Liu SF,et al. Residual stress prediction and control of Ta2O5SiO 2 multilayer based on layer structure designing[J]. Chinese Optics Letters(中国期刊),2013,11(10):10701.
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