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专利名称: 一种在线超纯氢分析装置;  一种在线超纯氢分析装置
发明人: 徐恒泳 ;   孟繁琼 ;   唐春华 ;   董恩宁 ;   邵炜
申请受理号: CN201320834852.1
专利授权号: CN201320834852.1
申请日期: 2013-12-15
授权日期: 2014-05-21
代理机构: 马驰
专利权人: 中国科学院大连化学物理研究所
专利类别: 实用新型
是否PCT专利: 
授予国别: CN
部门归属: 大连化物所
专利名称: 一种在线超纯氢分析装置;  一种在线超纯氢分析装置
公开日期: 2014-05-21
状态: 授权
摘要: 本实用新型公开了一种在线超纯氢分析装置,该装置包括样品气切换阀、切换进样阀、进样阀、分析色谱柱、检测器等组成,可以对超纯氢生产过程中的原料气和产品气同时进行在线分析,检测范围大,可以覆盖从常量检测、微量检测到ppb级的痕量检测。本装置自动化程度高、检测范围大、灵敏度高,在超纯氢生产中可对产品气杂质含量和原料气含量进行同时在线分析。
语种: 中文
内容类型: 专利
URI标识: http://cas-ir.dicp.ac.cn/handle/321008/120539
Appears in Collections:中国科学院大连化学物理研究所_专利

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徐恒泳, 孟繁琼, 唐春华,等. 一种在线超纯氢分析装置, 一种在线超纯氢分析装置. CN201320834852.1. 2014.
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