中国科学院大连化学物理研究所机构知识库
Advanced  
DICP OpenIR  > 中国科学院大连化学物理研究所  > 专利
专利名称: 一种实现且维持压力≤15×10-13torr抽真空方法;  一种实现且维持压力≤15×10-13torr抽真空方法
发明人: 郭庆 ;  任泽峰
申请受理号: CN201210204296.X
专利授权号: CN201210204296.X
申请日期: 2012-06-20
授权日期: 2014
专利权人: 中国科学院大连化学物理研究所
专利类别: 发明
是否PCT专利: 
授予国别: CN
部门归属: 大连化物所
专利名称: 一种实现且维持压力≤15×10-13torr抽真空方法;  一种实现且维持压力≤15×10-13torr抽真空方法
公开日期: 2014-01-15
状态: 实审
摘要: 本发明涉及一种实现且维持压力≤15×10-13torr抽真空方法,采用以下方法:将抽真空设备接入外部的真空容器,通过真空泵抽气,检漏无漏点;利用外部加热的方式烘烤抽真空设备和外部的真空容器,达到超高真空要求,依次向液氮薄壁桶注入液氮,待液氮薄壁筒和无氧铜套温度恒定后(~-180℃);使用钛升华泵90秒,稳定约半小时,可实现真空腔室真空≤15×10-13torr。本发明的优点是操作简便,成本低,效率高。
语种: 中文
内容类型: 专利
URI标识: http://cas-ir.dicp.ac.cn/handle/321008/120742
Appears in Collections:中国科学院大连化学物理研究所_专利

Files in This Item:

There are no files associated with this item.


Recommended Citation:
郭庆,任泽峰. 一种实现且维持压力≤15×10-13torr抽真空方法, 一种实现且维持压力≤15×10-13torr抽真空方法. CN201210204296.X. 2014.
Service
 Recommend this item
 Sava as my favorate item
 Show this item's statistics
 Export Endnote File
Google Scholar
 Similar articles in Google Scholar
 [郭庆]'s Articles
 [任泽峰]'s Articles
CSDL cross search
 Similar articles in CSDL Cross Search
 [郭庆]‘s Articles
 [任泽峰]‘s Articles
Related Copyright Policies
Null
Social Bookmarking
  Add to CiteULike  Add to Connotea  Add to Del.icio.us  Add to Digg  Add to Reddit 
所有评论 (0)
暂无评论
 
评注功能仅针对注册用户开放,请您登录
您对该条目有什么异议,请填写以下表单,管理员会尽快联系您。
内 容:
Email:  *
单位:
验证码:   刷新
您在IR的使用过程中有什么好的想法或者建议可以反馈给我们。
标 题:
 *
内 容:
Email:  *
验证码:   刷新

Items in IR are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.

 

 

Valid XHTML 1.0!
Powered by CSpace