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一种实现且维持压力≤15×10-13torr抽真空方法; 一种实现且维持压力≤15×10-13torr抽真空方法; 一种实现且维持压力≤15×10-13torr抽真空方法; 一种实现且维持压力≤15×10-13torr抽真空方法
郭庆; 任泽峰
申请受理号CN201210204296.X
专利授权号CN201210204296.X
申请日期2012-06-20
2014
专利权人中国科学院大连化学物理研究所
专利类别发明
是否PCT专利
授予国别CN
部门归属大连化物所
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公开日期2014-01-15
状态实审
英文摘要本发明涉及一种实现且维持压力≤15×10-13torr抽真空方法,采用以下方法:将抽真空设备接入外部的真空容器,通过真空泵抽气,检漏无漏点;利用外部加热的方式烘烤抽真空设备和外部的真空容器,达到超高真空要求,依次向液氮薄壁桶注入液氮,待液氮薄壁筒和无氧铜套温度恒定后(~-180℃);使用钛升华泵90秒,稳定约半小时,可实现真空腔室真空≤15×10-13torr。本发明的优点是操作简便,成本低,效率高。
语种中文
文献类型专利
条目标识符http://cas-ir.dicp.ac.cn/handle/321008/120742
专题中国科学院大连化学物理研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
郭庆,任泽峰. 一种实现且维持压力≤15×10-13torr抽真空方法, 一种实现且维持压力≤15×10-13torr抽真空方法, 一种实现且维持压力≤15×10-13torr抽真空方法, 一种实现且维持压力≤15×10-13torr抽真空方法. CN201210204296.X[P]. 2014-01-01.
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