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学科主题物理化学
一种真空室气压调节器; 一种真空室气压调节器; 一种真空室气压调节器; 一种真空室气压调节器
李海洋; 齐国臣; 赵无垛; 侯可勇; 李金旭; 窦健; 蒋蕾; 王祯鑫
申请受理号CN201310696152.5
专利授权号CN201310696152.5
申请日期2013-12-15
2015-11-01
专利权人中国科学院大连化学物理研究所
专利类别发明
是否PCT专利
授权日期2015-11-01
授予国别CN
一种真空室气压调节器; 一种真空室气压调节器; 一种真空室气压调节器; 一种真空室气压调节器
公开日期2015-06-17
英文摘要本发明公开了一种真空室气压调节器,具体的说是一种可以用于调控质谱仪真空室内气压的进样装置,该装置包括真空室、毛细管A、毛细管B、密封帽及密封垫、真空阀、分流腔体和真空泵;本发明的特点是通过调节真空阀,可以调控进入真空室的气体量,从而使真空室内气压可调,可以有效根据质谱仪工作需求调节质谱仪的进气量,同时可以有效减少更换毛细管过程中带来的拆卸质谱的麻烦。此外,可以通过调节真空阀使毛细管A的工作气压范围在0.1~3MPa。
语种中文
文献类型专利
条目标识符http://cas-ir.dicp.ac.cn/handle/321008/144832
专题中国科学院大连化学物理研究所
作者单位中国科学院大连化学物理研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
李海洋,齐国臣,赵无垛,等. 一种真空室气压调节器, 一种真空室气压调节器, 一种真空室气压调节器, 一种真空室气压调节器. CN201310696152.5[P]. 2015-11-01.
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