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Resolution deterioration in emission electron microscopy due to object roughness
Nepijko, SA; Sedov, NN; Schonhense, G; Escher, M; Bao, XH; Huang, WX
关键词Emission Electron Microscope (Eem) Resolution Object Roughness Computer Simulation
刊名ANNALEN DER PHYSIK
2000
9期:6页:441-451
收录类别SCI
文章类型Article
部门归属5
项目归属502
WOS标题词Science & Technology ; Physical Sciences
类目[WOS]Physics, Multidisciplinary
研究领域[WOS]Physics
关键词[WOS]PEEM
英文摘要In the present paper a general analytic expression has been obtained and confirmed by a computer simulation which links the surface roughness of an object under study in an emission electron microscope and it's resolution. A quantitative derivation was made for the model case when there is a step on the object surface. It was shown that the resolution is deteriorated asymmetrically relative to the step. The effect sets a practical limit to the ultimate lateral resolution obtainable in an emission electron microscope.
语种英语
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WOS记录号WOS:000088049100002
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文献类型期刊论文
条目标识符http://cas-ir.dicp.ac.cn/handle/321008/85051
专题中国科学院大连化学物理研究所
作者单位1.Natl Acad Sci Ukraine, Inst Phys, UA-03650 Kiev, Ukraine
2.Moscow Mil Inst, Moscow 109380, Russia
3.Univ Mainz, Inst Phys, D-55099 Mainz, Germany
4.Focus GmbH, D-65510 Hunstetten Gorsroth, Germany
5.Chinese Acad Sci, Dalian Inst Chem Phys, Dalian 116023, Peoples R China
推荐引用方式
GB/T 7714
Nepijko, SA,Sedov, NN,Schonhense, G,et al. Resolution deterioration in emission electron microscopy due to object roughness[J]. ANNALEN DER PHYSIK,2000,9(6):441-451.
APA Nepijko, SA,Sedov, NN,Schonhense, G,Escher, M,Bao, XH,&Huang, WX.(2000).Resolution deterioration in emission electron microscopy due to object roughness.ANNALEN DER PHYSIK,9(6),441-451.
MLA Nepijko, SA,et al."Resolution deterioration in emission electron microscopy due to object roughness".ANNALEN DER PHYSIK 9.6(2000):441-451.
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