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Experimental study of discharge characteristics and fluorine atom yield on DC discharge of NF3/He
Duo LP(多丽萍); Tang SK(唐书凯); Yu HJ(于海军); Wang J(汪健); Li LC(李留成); Jin YQ(金玉奇); Sang FT(桑凤亭); Yang BL(杨柏龄); Duo LP(多丽萍); Tang SK(唐书凯); Yu HJ(于海军); Wang J(汪健); Li LC(李留成); Jin YQ(金玉奇); Sang FT(桑凤亭); Yang BL(杨柏龄)
刊名Proceedings of SPIE
2007
ISSN0277-786X/9780819464309
6346页:63463S-1-63463S-6
部门归属7
项目归属705
产权排名1;1
语种
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文献类型期刊论文
条目标识符http://cas-ir.dicp.ac.cn/handle/321008/99745
专题中国科学院大连化学物理研究所
通讯作者Duo LP(多丽萍); Duo LP(多丽萍)
推荐引用方式
GB/T 7714
Duo LP,Tang SK,Yu HJ,et al. Experimental study of discharge characteristics and fluorine atom yield on DC discharge of NF3/He[J]. Proceedings of SPIE,2007,6346:63463S-1-63463S-6.
APA 多丽萍.,唐书凯.,于海军.,汪健.,李留成.,...&杨柏龄.(2007).Experimental study of discharge characteristics and fluorine atom yield on DC discharge of NF3/He.Proceedings of SPIE,6346,63463S-1-63463S-6.
MLA 多丽萍,et al."Experimental study of discharge characteristics and fluorine atom yield on DC discharge of NF3/He".Proceedings of SPIE 6346(2007):63463S-1-63463S-6.
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