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一种加速器电阻接电容的装置 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN201310470637.2, 申请日期: 2014-01-01, 公开日期: 2014-02-05
Inventors:  唐紫超;  谢华;  刘志凌;  秦正波;  张世宇
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一种用于电子加速的静电透镜装置 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN201310657118.7, 申请日期: 2014-01-01, 公开日期: 2014-03-26
Inventors:  唐紫超;  谢华;  刘志凌;  秦正波;  张世宇
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一种双阀激光溅射反应源 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN201310468675.4, 申请日期: 2014-01-01, 公开日期: 2014-02-05
Inventors:  唐紫超;  谢华;  刘志凌;  秦正波;  张世宇
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