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铝薄膜结构第一镜氢离子溅射特性研究 期刊论文
真空科学与技术学报, 2015, 卷号: 35, 期号: 0, 页码: 984
Authors:  公发全;  李刚;  谭艳楠;  张敏;  周徐阳;  牟宗信;  刘万发;  董闯
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